蝕刻機(jī)噴頭的作用及維護(hù)
發(fā)表時(shí)間：2019-11-12 09:19:40
1.蝕刻機(jī)噴頭的介紹：
蝕刻機(jī)噴頭是蝕刻機(jī)噴淋裝置中最重要的一個(gè)部件，藥液噴淋的形狀是根據(jù)蝕刻機(jī)噴頭的種類來(lái)決定的，不同的蝕刻機(jī)噴頭所起到的作用是不一樣的。
2.蝕刻機(jī)噴頭的作用：
主要作用是把蝕刻液均勻的噴淋到工件上，蝕刻機(jī)噴頭根據(jù)蝕刻機(jī)每道工序所對(duì)應(yīng)的要求所選擇不同的種類。比如：常規(guī)情況下蝕刻段選擇用扇形，因?yàn)槲g刻段對(duì)壓力的要求比較高，而我們扇形噴嘴噴淋出的液體壓力會(huì)相對(duì)較高;顯影段和退膜段我們就采用錐形噴嘴，因?yàn)檫@兩處需要覆蓋面廣，而錐形噴嘴剛好就有這種特性。
扇形噴嘴：扇形噴嘴噴霧 錐形噴嘴：錐形噴嘴噴霧
3.蝕刻機(jī)噴頭的維護(hù)：
蝕刻液是通過(guò)蝕刻機(jī)噴頭頂端的小孔把藥水給噴淋出來(lái)，這個(gè)小孔的直徑是很小的，所以是很容易堵塞的，而我們的蝕刻液沉淀物和腐蝕下來(lái)的殘?jiān)际穷w粒狀的，使用的時(shí)間過(guò)長(zhǎng)了這些固體顆粒物的形成就會(huì)堵塞噴頭，所以我們需要定期的清理蝕刻機(jī)的噴頭才能達(dá)到良好的腐蝕效果。
蝕刻機(jī)噴頭是蝕刻機(jī)噴淋裝置中最重要的一個(gè)部件，藥液噴淋的形狀是根據(jù)蝕刻機(jī)噴頭的種類來(lái)決定的，不同的蝕刻機(jī)噴頭所起到的作用是不一樣的。
2.蝕刻機(jī)噴頭的作用：
主要作用是把蝕刻液均勻的噴淋到工件上，蝕刻機(jī)噴頭根據(jù)蝕刻機(jī)每道工序所對(duì)應(yīng)的要求所選擇不同的種類。比如：常規(guī)情況下蝕刻段選擇用扇形，因?yàn)槲g刻段對(duì)壓力的要求比較高，而我們扇形噴嘴噴淋出的液體壓力會(huì)相對(duì)較高;顯影段和退膜段我們就采用錐形噴嘴，因?yàn)檫@兩處需要覆蓋面廣，而錐形噴嘴剛好就有這種特性。
扇形噴嘴：扇形噴嘴噴霧 錐形噴嘴：錐形噴嘴噴霧
3.蝕刻機(jī)噴頭的維護(hù)：
蝕刻液是通過(guò)蝕刻機(jī)噴頭頂端的小孔把藥水給噴淋出來(lái)，這個(gè)小孔的直徑是很小的，所以是很容易堵塞的，而我們的蝕刻液沉淀物和腐蝕下來(lái)的殘?jiān)际穷w粒狀的，使用的時(shí)間過(guò)長(zhǎng)了這些固體顆粒物的形成就會(huì)堵塞噴頭，所以我們需要定期的清理蝕刻機(jī)的噴頭才能達(dá)到良好的腐蝕效果。
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